Microscope MEB Zeiss GeminiSEM 500

¤ Présentation
¤ Caractéristiques de l’appareil
¤ Exemples de clichés

 

Présentation

Le microscope électronique à balayage ZEISS de haute résolution, modèle Gemini 500, permet l’imagerie des matériaux conducteurs et isolants à l’échelle nanométrique, même en mode basse tension et pression variable. Pour les analyses chimiques et cristallographiques, l’appareil est équipé des techniques EDS (spectroscopie X à dispersion d’énergie), WDS (analyse dispersive en longueur d’onde) pour une meilleure résolution et sensibilité et EBSD (diffraction d’électrons rétrodiffusés) pour accéder à des cartographies d’orientations et phases.

 

Caractéristiques de l’appareil

Emission

Tension d’accélération : de  20 V à 30 kV
canon à émission de champ Schottky avec un courant de sonde de 5 pA à 20 nA

Résolution spatiale : 0,6 nm à 15 kV et 1,1 nm à 1 kV

Détecteurs :

Détecteur SE In-lens : Détecteur à scintillateur monté dans la colonne avec photomultiplicateur couplé pour la détection sensible en surface In-lens à haut rendement des électrons secondaires (SE).

Détecteur ESB : Détecteur à scintillateur de haut rendement monté dans la colonne avec photomultiplicateur couplé optiquement pour la détection des électrons rétrodiffusés avec discrimination angulaire et énergétique

Détecteur HE-SE2 : Détecteur Everhart-Thornley à haut rendement Permet l’acquisition d’image à une vitesse de balayage supérieure par rapport au détecteur Everhart-Thornley standard

Détecteur BSD : Détecteur pneumatique rétractable à semi-conducteurs et à 5 quadrants. Permet l’imagerie du contraste des matériaux, de l’orientation cristalline et topographique.

Détecteur aSTEM : Détecteur en mode transmission annulaire pneumatique rétractable, avec porte-échantillons 12x. Permet l’imagerie par transmission en champ clair, en champ sombre, en champ sombre orienté et en champ sombre annulaire grand angle.

Détecteur SE en mode pression variable (VP) à haut rendement pour l’imagerie des matériaux isolants

EDS EDAX SDD 30 mm2

WDS EDAX TEXS optimisé pour la détection d’énergie de 150 eV jusqu’à 10 keV.

EBSD avec caméra EDAX Hikari et détecteur FSD (forward scatter detector)

 

Exemples de clichés

         

Spectre d’une analyse WDS du Si avec une résolution énergétique de 6eV

Images SE et BSE en haute résolution d’un nanofil en Si et Au

Spectre d’une analyse EDS avec la composition chimique d’un échantillon

Cartographie EBSD  de grains de Ni