Microscope MET FEI Titan 80-300

Présentation

Le Titan offre une résolution spatiale de 0.1nm grâce au correcteur d 'aberrations. Il est équipé avec un filtre de perte d'énergie qui permet d’acquérir des cartographies chimiques et des spectres de perte d'énergie avec une résolution spatiale autour de 1nm.
Le mode STEM est aussi à la disposition, ce qui permet d'obtenir des images avec un contraste plus facilement à interpréter ou des informations spectroscopiques bien localisées. La résolution spatiale maximale du microscope en mode STEM est 0,14 nm.

 

Détails techniques

Source d'émission de champ type Schottky
Tension d'acceleration : 80 – 300 kV
Résolution spatiale : TEM 0.10 nm ( correcteur Cs)
STEM 0.14 nm

Détecteurs :

  • Caméra CMOS GATAN ClearView
  • Détecteur HAADF Fischione
  • Détecteur BF/DF Gatan
  • Spectromètre de perte d'énergie Gatan Imaging Filter (modèle Tridiem)
  • Détecteur EDS SDD XMax 80 (Oxford)

Porte-objets :

  • Simple tilt et double tilt standards
  • Simple tilt cryogénique refroidi à l'azote liquide (GATAN modèle 626)

 

Exemples de clichés

  • Micrographe de haute résolution d'un interface GaSb/GaAs

  • Image STEM-HAADF des nanoparticules d'or sur la silice nanoporeuse (F. Dalmer et al. MADIREL)

  • A gauche : Image MET des nanoparticules d'aluminium oxydées à 400 °C.

    A droite : Image filtré en energie (EFTEM) des mêmes particules qui met en évidence la présence d'aluminium métallique. (J. Phys. Chem. C (2015), 119, p. 25063)