Zeiss EVO 15 EV-VP

ZEISS EVO 15 Microscopie corrélative LSM710

La configuration

– MEB EVO 15 à Source LaB6
– Acquisition jusqu’à 4 détecteurs simultanément
– Images individuelles jusqu’à 24.000 x 32.000 pixels
– Microscopie Corrélative (accessoires et modules logiciels pour EVO et LSM710)
– Logiciel avancé SmartSEM et logiciel simplifié SmartSEM Touch
– Panel de contrôle ergonomique, Joystick
– Chambre intermédiaire (modèle « 15 ») de 360mm de diamètre interne et 275mm de haut
– Platine motorisée 5 axes : 125 x 125mm (XY), 50mm (Z), -10 à 90° (T), 360° (R)
– Modes de vide : Haut Vide, Vide partiel (VP 10 à 133Pa), Pression étendue (EP 10 à 3000Pa)
– Détecteur SE C2DX (VP, EP)
– Kit Eau pour environnement humide – Platine refroidissement Peltier (-30°C à +50°C)
– Détecteurs SE Everhart Thornley: SE1 (HV) :

Détecteur d’électrons secondaires en mode vide poussé de type Everhart-Thornley couplé à un photomultiplicateur, situé dans la chambre.
Polarisation du collecteur réglable entre –250 V et +400 V.
Les avantages de ce détecteur sont les suivants :
Excellent rapport S/B grâce à une électronique poussée
Nouveau design réduisant les signaux parasites SE3 et réduisant les phénomènes d’accumulation de charges

– Détecteur BSE : HD-BSD rétractable à 5 quadrants (HV, VP, EP) :

Détecteur d’électrons rétrodiffusés HDBSD 5 segments
Les caractéristiques du détecteur sont les suivantes :
Electronique dernière génération
Haute sensibilité de la diode pour détection de 30kV à 3kV
Surface totale de plus de 28mm2
Mode contraste chimique
Mode contraste topographique ‘Shadow’
Compatible avec EDS
Rétractable manuellement

– Caméra de navigation Couleur fixée sur la porte :

Caméra de contrôle « Colorscope »
Caméra couleur de navigation « NavCam » Lors de l’introduction du porte échantillon sur la platine, la caméra est déployée (position de parking sur la porte de la chambre) et une image d’ensemble est acquise en couleur au travers du logiciel SmartSEM. Cette image sert ensuite de cartographie de navigation pour diriger le MEB sur l’échantillon et sur la région d’intérêt adéquats. En mode navigation, le champ observé au MEB est représenté sur l’image d’ensemble (localisation, taille de champ). En cas de rotation électronique de l’image, celle-ci est aussi prise en compte pour une navigation aisée

– Caméra IR / Couleur de surveillance de la chambre :

Lors de l’utilisation du MEB (porte fermée), cette caméra observe le porte-échantillon, la platine et les détecteurs environnants pour une utilisation en toute sécurité.
Elle est utilisable en couleur ou en imagerie IR et dispose d’un zoom optique pour une observation précise. L’image Live est affichée directement dans le logiciel SmartSEM du MEB

– Détecteur de Cathodoluminescence RGB JOLT Delmic :

Détection CL Panchromatique ou RGB.
Basé sur une technologie unique de capteurs MPPC (Capteur de Photons Multi Pixels).
Gamme spectrale 320 – 900 nm.

– Detecteur EDX Apollo 10 Edax

 

Solution ZEISS Zen Connect Microscopie corrélative :

  • Zen Connect est un module additionnel du logiciel Zen Blue LSM710 . 

Les fonctionnalités de Zen Connect sont les suivantes :

    • Import d’images optiques issues de microscopes non-Zeiss : lecture des métadonnées via le moteur Bioformat. Cela permet d’utiliser en entrée des images Raman, IR, issues de binoculaires, de macroscopes, …
    • Import d’images optiques issues du microscope Zeiss LSM710, à platine manuelle
    • Les images optiques sont importées à différents grandissements, elles peuvent être alignées les unes relativement aux autres dans Zen Connect.
    •  Zen Connect contrôle la platine du MEB. D’un simple clic sur l’image optique on vient centrer l’image live du MEB sur la même zone (et grandissement équivalent).
    • Toutes les images (importées et acquises au MEB) sont affichées dans un même espace, superposées avec gestion de la transparence. L’interface de Zen Connect permet d’importer tout document sous forme d’image, par exemple : cartographies et spectres EDS, tout type de spectre, …
  • Principe Zen Connect Microscopie corrélative :

Un logiciel dédié (Zen Connect 2D) est installé sur le microscope optique / confocal à platine motorisée ET sur le MEB EVO. Cette approche repose sur l’utilisation de portes-échantillons spécifiques disposant d’un référentiel gravé au laser (3 grands « L » et 3 petits pour la détection précise). La détection du référentiel se fait de manière automatique dans Zen Connect 2D, par analyse d’image. Une fois le référentiel détecté, l’utilisateur se déplace librement sur l’échantillon à l’aide de la platine motorisée. Il acquière des images sur les zones d’intérêt et selon les techniques de contraste qu’il souhaite. L’échantillon est ensuite transféré au MEB en mode Vide partiel (10 à 133Pa), Pression étendue (10 à 3000Pa) . Le référentiel est détecté de manière automatique via Zen Connect 2D installé sur le MEB EVO. L’utilisateur ouvre ensuite les images optiques et vient simplement y définir des points ou régions d’intérêt. Le MEB s’y déplace automatiquement et adopte (lorsque cela est possible) la même valeur de grandissement que le microscope optique (lecture des métadonnées). Enfin, les images optiques et électroniques sont automatiquement recalées et affichées à l’échelle dans un espace unique (avec gestion de la transparence).

  • Avantages Zen Connect Microscopie corrélative:

Approche 100% automatisée, basée sur un référentiel unique.  Même s’il n’y a pas de structure reconnaissable entre images optiques et MEB, la passerelle corrélative peut se faire. 

Zen Connect 2D peut importer des images optiques à des grandissements différents (ex : objectifs 2.5x, 40x). Celles-ci seront automatiquement alignées les unes par rapport aux autres.